大连理工大学主页平台管理系统高飞--高飞-- Equivalent circuit effects on mode transitions in H2 inductively coupled plasmas

高飞

访问量：

开通时间：..

最后更新时间：..

当前位置: 高飞 >> 科学研究 >> 论文成果

Equivalent circuit effects on mode transitions in H2 inductively coupled plasmas

点击次数：

论文类型：期刊论文

发表时间：2015-01-01

发表刊物：Physcis of Plasmas

卷号：22

期号：4

页面范围：43508-43508

上一条：Characterization of O-2/Ar inductively coupled plasma studied by using a Langmuir probe and global model

下一条：Characterization of O2/Ar inductively coupled plasma studied by using a Langmuir probe and global model