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    高飞

    • 教授     博士生导师 硕士生导师
    • 主要任职:集成电路学院党委书记
    • 性别:男
    • 毕业院校:大连理工大学
    • 学位:博士
    • 所在单位:集成电路学院
    • 学科:等离子体物理
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    论文成果

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    Experimental investigations of the plasma radial uniformity in single and dualfrequency capacitively coupled argon discharges

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      发布时间:2019-03-12

      论文类型:期刊论文

      发表时间:2016-01-01

      发表刊物:Phys. Plasmas

      卷号:23

      期号:12

      页面范围:123512-123512