高飞
开通时间:..
最后更新时间:..
点击次数:
第一作者:高飞
发明设计人:王友年
授权号:ZL201510263218.0
上一条:一种基于射频放电的正负离子源
下一条:提高等离子体径向均匀性的等离子体腔室