高飞
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教授
博士生导师
硕士生导师
- 主要任职：集成电路学院党委书记
- 性别：男
- 毕业院校：大连理工大学
- 学位：博士
- 所在单位：集成电路学院
- 学科：等离子体物理
- 电子邮箱：0e50b59bcf835481ffee6d5ede325a50a685ebc5c94d06620970d3b974d62ad710d0f1fe21c1873661f11b5256195edf11aa3535eb0284ccf462763cd327e4189ae890507db1784540e4129f53c806b057a1653d774f00b997f69f079e3beacd0508c39351619c6e8f0cf53be4af24803a567975a2aed086a136d27bcf1780a3
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一种细长管射频感应耦合等离子体源反应器
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专利名称：一种细长管射频感应耦合等离子体源反应器
第一作者：高飞
发明设计人：王友年
授权号：CN106304596A
发布时间：2019-10-15