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Indexed by: Conference Paper

Date of Publication: 2012-09-13

Page Number: 83-86

Key Words: 电弧离子镀;三元氮化物;力学性能;摩擦系数

Abstract: 　　利用脉冲偏压电弧离子镀在高速钢和Si基体上沉积锆基三元氮化物薄膜Zr-Me-N (Me=Al,Cr, Cu).采用EPMA、XRD、SEM、接触角、纳米压痕、划痕仪以及摩擦磨损试验机分别研究薄膜的组分、结构、润湿性、力学性能和摩擦学性能.研究表明：Zr-Cr-N和Zr-Cu-N薄膜为单一相fcc Bl(NaCl)结构；薄膜具有良好的结合力和较高的水接触角；ZrN中掺入过量的Al导致薄膜的力学性能降低.ZvCu-N薄膜显微硬度最高,达到35.5 GPa,而且纳米复合Zr-Cu-N薄膜能有效地降低摩擦系数.