Release Time:2019-03-10 Hits:
Indexed by: Journal Article
Date of Publication: 2012-10-15
Journal: 真空科学与技术学报
Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU
Volume: 32
Issue: 10
Page Number: 872-877
ISSN: 1672-7126
Key Words: TC4钛合金;电弧离子镀;TiN/CrN纳米多层薄膜
Abstract: 用电弧离子镀技术在TC4钛合金基体上通过改变偏压制备了4组TiN/CrN薄膜,对薄膜的表面形貌、厚度、相结构、硬度、膜基结合力和摩擦系数等组织、性能进行了测试表征.结果表明,薄膜是由TiN相和CrN交替叠加构成的纳米多层薄膜,薄膜的调制周期为60nm,总的厚度约为480nm.与基体钛合金相比,镀膜后样品的表面性能与偏压幅值密切相关并有显著提高:显微硬度从基体的3 GPa提高到16.5~24.7 GPa;摩擦系数从基体的0.35大幅度降低到0.14~0.17;薄膜与基体结合牢固,膜基临界载荷在60~80N之间.经电弧离子镀TiN/CrN纳米多层薄膜处理后,TC4钛合金可以满足沙粒和尘埃磨损条件下的耐磨性能要求.