Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2009-09-15

Journal: 真空科学与技术学报

Included Journals: Scopus、CSCD、ISTIC、PKU、EI

Volume: 29

Issue: 5

Page Number: 509-512

ISSN: 1672-7126

Key Words: 朗缪尔双探针;电弧离子镀;等离子体

Abstract: 本文利用朗缪尔双探针对电弧离子镀等离子体进行了诊断.双探针具有收集电流小的优点(小于离子饱和电流),可以避免探针在高密度电弧离子镀等离子体中被烧坏.利用离散傅里叶变换(DFT)对测量曲线进行平滑,有效地克服了电弧离子镀等离子体放电所固有的强烈波动.探针端部设计能够避免由薄膜沉积造成的探针与支撑杆短路问题.实验结果表明,等离子体密度随着弧电流和气压的增加而增加,而电子温度随着弧电流和气压变化不明显.另外,使用双靶放电等离子体密度和电子温度高于单靶放电.这些结果提供了电弧离子镀等离子体的基本参数,对于材料涂层工艺研究具有积极意义.