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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
电子邮箱：guodm@dlut.edu.cn
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集成电路制造中的固结磨料化学机械抛光技术研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2005-05-15
发表刊物：润滑与密封
收录刊物：Scopus、EI、PKU、ISTIC
期号：3
页面范围：1-4,8
ISSN号：0254-0150
关键字：化学机械抛光;固结磨料;抛光垫;抛光机;抛光液
摘要：经过对传统化学机械抛光技术的研究与分析,指出了目前ULSI制造中使用的传统化学机械抛光技术的缺点,通过对固结磨料化学机械抛光中的抛光垫结构、抛光机原理及抛光液的分析,得出了固结磨料化学机械抛光技术的优点,同时还对硅片固结磨料化学机械抛光的缺陷进行了研究.