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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别:男
毕业院校:大连理工大学
学位:博士
所在单位:机械工程学院
电子邮箱:guodm@dlut.edu.cn
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微电子和光电子制造中的节约型高效精密加工技术
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论文类型:期刊论文
发表时间:2009-12-15
发表刊物:江南大学学报(自然科学版)
收录刊物:ISTIC
卷号:8
期号:6
页面范围:746-752
ISSN号:1671-7147
关键字:微电子;光电子;超精密;制造技术
摘要:着重介绍了高效精密加工制造技术的科学内涵、应用范围和在机械加工制造业的重要性,以及国内外研究现状与发展趋势,分析了国内在先进加工制造工艺和装备领域的基础研究中存在的主要问题和差距.