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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
电子邮箱：guodm@dlut.edu.cn
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表面活性剂在太阳能硅片清洗中的应用
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论文类型：会议论文
发表时间：2009-08-01
页面范围：170-174
关键字：太阳能硅片;表面活性剂;硅片清洗;作用原理
摘要：介绍了我国太阳能硅片发展现状及硅片清洗技术,讨论了硅片清洗对表面活性剂的要求及表面活性剂在清洗中的作用原理,综述了表面活性剂在硅片清洗中的应用,并提出了硅片清洗用表面活性剂的发展趋势。