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论文类型：期刊论文

发表时间：2019-08-28

发表刊物：现代机械

期号：4

页面范围：16-20

ISSN号：1002-6886

关键字：电致化学抛光 液浮平面电极 COMSOL 法向刚度 倾覆力矩

摘要：电致化学抛光是一种超光滑超平整表面的无应力加工方法,加工工具是大面积液浮平面电极,其稳定性是影响加工质量的最关键因素.研究电极稳定性对于提高加工质量具有重要意义.基于静压支撑原理,设计了电板结构,采用COMSOL仿真研究了液压腔数目,倾斜方向对电极法向刚度和倾覆力矩的影响.结果 显示法向刚度大小与液压腔数目成正相关,增加液压腔数目可以有效提高电极抗倾覆能力和弱化其异向性,表明了增加液压腔数目可以有效提高电极稳定性能.