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论文类型：会议论文

发表时间：2008-05-01

页面范围：115-118

关键字：非离子表面活性剂;表面粗糙度;聚氧乙烯;碱性铜抛光液

摘要：使用了四种非离子表面活性剂分别添加到以SiO3水溶胶为磨料、H2O2为氧化剂的碱性铜抛光液中进行抛光试验。结果表明：所选用的非离子表面活性剂对材料去除率的影响不大，当烷基酚聚氧乙烯醚在质量分数为0.25％时，抛光表面质量提高，表面粗糙度由Ra=13.54(A)下降到了Ra=8.976(A)，同时有效地减轻了铜抛光表面的划痕和腐蚀，其原因是聚氧乙烯链可以通过醚键与水分子形成氢键，因而在聚氧乙烯周围形成一层溶剂化的水膜保护了被吸附表面。