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论文类型：期刊论文

发表时间：2014-09-04

发表刊物：机械工程学报

收录刊物：EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

卷号：50

期号：23

页面范围：194-199

ISSN号：0577-6686

关键字：飞秒激光;表面粗糙度;偏振态;烧蚀形貌;线重叠率

摘要：基于不同激光功率线烧蚀试验，研究激光偏振模式对烧蚀线宽度及表面形貌特征的影响。结合线烧蚀优化参数，开展不同线重叠率δ的面烧蚀试验，利用表面轮廓仪进行烧蚀表面粗糙度分析；建立扫描速度和线重叠率对残留高度影响的关系表达式，并进行计算分析。研究表明，当线偏振方向平行于扫描方向时，线偏振光烧蚀线质量优于圆偏振光，且其烧蚀线宽比圆偏振光大。当δ由65%增大到90%时，线偏振光烧蚀面垂直于扫描方向的轮廓算数平均偏差Ra先减小后增大，并在δ=80%时达到最小值1.05μm；圆偏振光Ra随δ增大而减小，在δ=90%时达到最小值1.63μm。此外，烧蚀面微观不平度十点高度Rz计算结果与试验结果基本吻合，且Rz与δ呈线性关系，并随δ增大而减小。