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论文类型：期刊论文

发表时间：2011-08-05

发表刊物：机械工程学报

收录刊物：EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

卷号：47

期号：15

页面范围：83-88

ISSN号：0577-6686

关键字：化学机械平坦化 粗糙表面 两相微流动

摘要：以带沟槽抛光垫多级粗糙间隙内的固液两相微流动为研究对象,基于计算机模拟生成多级粗糙表面,利用格子Boltzmman方法(Lattice Boltzmann method,LBM)计算微观流场,对抛光液在多级粗糙问隙内的流动过程以及固体颗粒的运动轨迹进行分析.探讨将这种新的抛光液两相微流动分析方法用于平坦化机理研究的可行性,并初步研究同体颗粒在多级粗糙间隙内的运动和碰撞过程,分析固体颗粒的运动特性.研究表明,多级粗糙表面的计算机模拟生成技术结合稀疏两相流模拟可以用来分析多级粗糙间隙内抛光液流动和固体颗粒运动轨迹.通过对抛光垫多级粗糙间隙内两相微流动的研究,有助于揭示晶片表面缺陷产生的机制,并提出减少缺陷的抛光垫微结构设计及修整方案.