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论文类型：期刊论文

发表时间：2008-03-15

发表刊物：摩擦学学报

收录刊物：CSCD、ISTIC、PKU、EI

卷号：28

期号：2

页面范围：108-111

ISSN号：1004-0595

关键字：化学机械抛光;材料去除机理;材料去除率;磨粒磨损;接触形式

摘要：设计了3种不同的抛光液并进行一系列抛光试验,得到机械、化学及其交互作用所引起的材料去除率,分析了化学机械抛光时硅片与抛光垫之间接触形式的判别方法及其抛光机理.结果表明:化学机械抛光中的主要作用为磨粒的机械作用;材料的去除率主要为磨粒与抛光液交互作用所引起的材料去除率;硅片表面材料的去除形式主要为化学作用下的二体磨粒磨损;化学机械抛光时硅片与抛光垫之间的接触形式为实体接触.