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论文类型：期刊论文

发表时间：2008-10-15

发表刊物：中国表面工程

收录刊物：PKU、ISTIC

卷号：21

期号：5

页面范围：26-30

ISSN号：1007-9289

关键字：超声波检测;薄膜介质;衰减系数;评价方法

摘要：利用超声波回波法对薄膜的声学特性进行了研究,提出了一种薄膜介质的超声波衰减评价方法.结果表明,超声回波信号的尾部产生大量的细小杂波,这些杂波包含着反应薄膜物性的声学参量.采用解析法建立了基于频谱分析的无薄膜时回波信号和有薄膜时回波信号频谱比值的恢复函数H(f),该方法考虑了超声波在薄膜介质中的衰减系数特征参量,获得了薄膜介质的密度、弹性模量等物理参量及超声波在薄膜中传播衰减系数与频率的关系.克服了超声波低频检测法无法测量厚度小于入射波波长的薄膜介质或涂层声学特性的缺点.