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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：哈尔滨工业大学
学位：博士
所在单位：控制科学与工程学院
学科：微电子学与固体电子学
电子邮箱：jwzhang@dlut.edu.cn
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一种光刻友好型冗余金属填充方法
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第一作者：陈晓明
发明设计人：武文琦,李松松,朱慧超,张建伟
申请号：CN201510304216.1
授权日期：2015-06-04
授权号：CN104951600A