Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2017-03-15

Journal: 光学精密工程

Included Journals: Scopus、CSCD、EI

Volume: 25

Issue: 3

Page Number: 656-662

ISSN: 1004-924X

Key Words: 微质量传感器;高阶模态;灵敏度;谐振;构型优化

Abstract: 高灵敏度是微质量传感器准确探测细菌、病毒和气体等物质的关键指标.虽然借助微型化的高阶模态梁振动可以有效提升探测灵敏度,但微尺度效应也降低了传感器的抗环境干扰能力.因此,如何在特定尺度约束下提升高阶模态传感器的灵敏度已成为谐振式微传感器设计的前沿问题.本文在研究弹性梁几何构型、压电层尺寸与有效质量分布对振动模态影响关系的基础上,建立了压电驱动多阶梯梁式微质量传感器的灵敏度分析模型,以传感器灵敏度提升最大为目标,建立了高阶振动模态下悬臂梁几何构型优化设计模型,得到了在不同振动模态下具有最高灵敏度的悬臂梁构型,使同尺寸传感器的灵敏度提升了10.0～15.0倍.考虑驱动位置与制造成本约束,设计并研制了具有六阶梯梁结构的高阶模态微质量传感器.实验结果表明,总长度为17.6 mm的六阶梯梁微质量传感器的灵敏度为18.8×104 Hz/g,考虑制造误差的影响,其二阶模态灵敏度为同尺寸等截面梁传感器的10.0倍,较一阶模态同尺寸传感器灵敏度提升了19.8倍,从而验证了所提出的高阶模态微质量传感器灵敏度提升方法的有效性和可行性.