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  • 梁红伟 ( 教授 ) 赞

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  • 主要任职：集成电路学院院长
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ZnO p-n结制备及其电注入发光
点击次数：
发布时间：2019-03-10
论文类型：会议论文
发表时间：2006-11-01
页面范围：490-492
关键字：金属有机化学气相沉积;ZnO薄膜;电致发光;二乙基锌
摘要：我们采用自行设计的等离子体增强MOCVD系统,利用经特殊设计的反应室,以二乙基锌(DEZn)和O2作为锌源和氧源,分别通过几种途径,获得了p-ZnO薄膜.并且在此基础上,初步制备了ZnO的同质结器件,并观测到了电致发光.
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