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论文类型：会议论文
发表时间：2010-01-13
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关键字：金属有机化学气相淀积 ZnO基p-n结 电注入发光 光电器件
摘要：ZnO基p-n结的电注入发光研究是目前国际研究的热点。本文用MOCVD技术制备了高质量ZnO和ZnMgO薄膜，并在此基础上，采用几种掺杂方法制备出p型ZnO和ZnMgO薄膜，进而制备出了ZnO和ZnMgO的异质、同质p-n结，并在室温下实现了其电注入发光。