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个人信息Personal Information
研究员
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械电子工程. 机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院知方楼6005室
联系方式：0411-84707713
电子邮箱：liujs@dlut.edu.cn
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集成Pt电极电化学微流控芯片制作工艺研究
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论文类型：会议论文
发表时间：2005-08-13
卷号：Vol.16
页面范围：94-95
关键字：电化学;微流控芯片;剥离工艺;集成Pt电极
摘要： 本文研究了一种集成Pt电极的安培型电化学微流控芯片的制备方法.在清洗后的SODA-LIME玻璃上涂敷正性光刻胶光刻,显影后开窗于微电极图形部分,利用射频溅射台溅射Pt后,采用剥离的方法得到Pt微电极.在另一玻璃基片上采用湿法腐蚀的方法得到微通道.微电极与微通道出口的对准工艺在自行研制的立体显微镜下完成,对准后的芯片在马弗妒中热键合,获得集成Pt电极的玻璃电化学微流控芯片.