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个人信息Personal Information
研究员
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械电子工程. 机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院知方楼6005室
联系方式：0411-84707713
电子邮箱：liujs@dlut.edu.cn
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聚酰亚胺柔性温度传感器的制作与性能测试
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论文类型：期刊论文
发表时间：2018-11-28
发表刊物：机电工程技术
卷号：47
期号：11
页面范围：5-8,80
ISSN号：1009-9492
关键字：聚酰亚胺(Polyimide,PI);温度传感器;铂薄膜;铜薄膜
摘要：基于微机电系统技术,在柔性聚酰亚胺(PI)基底上分别制作弓形与蛇形两种结构的铜薄膜与铂薄膜温度传感器.采用红外成像设备对传感器在通电状态下的热分布进行测试,结果表明PI基底具有良好的热绝缘性.对不同结构、不同金属薄膜的传感器性能进行对比分析,在25～90℃的温度测试范围内,4种温度传感器均具有较好的灵敏度和线性度,其中蛇形结构的铂薄膜温度传感器的线性度最好,线性相关系数达到了0.99933,其电阻温度系数为0.00235/℃.