刘军山
个人信息Personal Information
研究员
博士生导师
硕士生导师
性别:男
毕业院校:大连理工大学
学位:博士
所在单位:机械工程学院
学科:机械电子工程. 机械制造及其自动化
办公地点:机械工程学院知方楼6005室
联系方式:0411-84707713
电子邮箱:liujs@dlut.edu.cn
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温度处理对聚酰亚胺薄膜性能的影响研究
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论文类型:期刊论文
发表时间:2018-11-28
发表刊物:机电工程技术
卷号:47
期号:11
页面范围:26-28,50
ISSN号:1009-9492
关键字:聚酰亚胺;温度处理;弹性模量;硬度;抗溶剂性能
摘要:将PW-1500S型、FB-5410型和ZKPI-520型三种不同的聚酰亚胺前驱体制备成聚酰亚胺薄膜,研究温度处理对不同型号聚酰亚胺薄膜的弹性模量、硬度、抗溶剂性能以及抗氢氟酸缓冲液腐蚀性能的影响.实验表明:3种型号的聚酰亚胺薄膜经温度处理后,其弹性模量、硬度、抗溶剂性能和抗氢氟酸缓冲液腐蚀性能没有明显变化.此外,溅射在PW-1500S型和ZKPI-520型聚酰亚胺薄膜上的金薄膜,经温度处理后薄膜表面没有出现缺陷;而溅射在FB-5410型聚酰亚胺薄膜上的金薄膜,经350℃保温30 min的温度处理后表面出现了微小缺陷.