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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：凝聚态物理
办公地点：大连理工大学物理学院三束材料改性教育部重点实验室厚望楼220房间
电子邮箱：chunyuma@dlut.edu.cn
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热氧化法制备ZnO薄膜的结构及光学特性
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论文类型：会议论文
发表时间：2009-08-15
页面范围：1
关键字：热氧化;薄膜结构;ZnO;光学特性;薄膜制备技术;沉积参数;氧化温度;结晶取向;光学性质;射频磁控溅射法;
摘要：不同的制备技术及工艺参数决定了ZnO薄膜的结晶取向、表面粗糙度及性质上的差异。对比其他制备方法,热氧化法不需要催化剂,是一种相对简单的方法。由于沉积参数相对可控,且氧化温度无需太高,所以这是一种易于应用的薄膜制备技术。