辽宁省微纳米技术及系统重点实验室 微系统与微制造辽宁省高校重点实验室  辽宁省微纳米技术及系统重点实验室/微系统与微制造辽宁省高校重点实验室是集微机电系统、纳米技术、信息光电子技术等为一体的研究机构，也是东三省微机电系统研发联合体牵头单位。实验室正式成立于2004年，其前身是2000年成立的大连理工大学微系...