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Indexed by: Conference Paper

Date of Publication: 2002-05-01

Page Number: 2

Key Words: 工业丙烷;火焰CVD;纳米SiO_2颗粒

Abstract: 本文以SiCl_4为原料,以工业丙烷为燃料的火焰CVD工艺过程,实验研究了纳米SiO_2颗粒的制备技术与过程。制备了无定型的球形纳米SiO_2 颗粒材料。