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火焰CVD法制备SiOlt;,2gt;纳米颗粒材料的实验与理论研究

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Indexed by:会议论文

Date of Publication:2002-05-29

Key Words:工业丙烷;火焰CVD;纳米SiO<,2>颗粒

Abstract:本文以SiCl<,4>为原料,以工业丙烷为燃料的火焰CVD工艺过程,实验研究了纳米SiO<,2>颗粒的制备技术与过程.制备了无定型的球形纳米SiO<,2>颗粒材料.

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