火焰CVD法制备SiOlt;,2gt;纳米颗粒材料的实验与理论研究
Release Time:2019-03-10 Hits:
Indexed by: Conference Paper
Date of Publication: 2002-05-29
Key Words: 工业丙烷;火焰CVD;纳米SiO<,2>颗粒
Abstract: 本文以SiCl<,4>为原料,以工业丙烷为燃料的火焰CVD工艺过程,实验研究了纳米SiO<,2>颗粒的制备技术与过程.制备了无定型的球形纳米SiO<,2>颗粒材料.