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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
任职 : 《Plasma Science and Technology》学术期刊编委
性别：男
毕业院校：大连工学院
学位：硕士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：主楼东侧楼（物理系楼）304室
联系方式：0411-84707981
电子邮箱：wangdez@dlut.edu.cn
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ECR微波等离子体源离子输运的蒙特卡罗模拟
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论文类型：期刊论文
发表时间：1997-01-01
发表刊物：核聚变与等离子体物理
收录刊物：PKU、CSCD
卷号：17
期号：4
页面范围：36
ISSN号：0254-6086
关键字：离子鞘层; 蒙特卡罗模拟
摘要：采用蒙特卡罗方法，模拟了ＥＣＲ微波等离子体源中离子离开放电室后历经中性区、鞘层区，最后被加负偏压的工件表面吸收的全过程。研究了鞘层边界处的衔接问题，得到了自洽电势分布和鞘层区不同位置处的速度分布、能量分布与角分布。同时，讨论了磁场对鞘势的影响。