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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
任职 : 《Plasma Science and Technology》学术期刊编委
性别：男
毕业院校：大连工学院
学位：硕士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：主楼东侧楼（物理系楼）304室
联系方式：0411-84707981
电子邮箱：wangdez@dlut.edu.cn
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激发频率对硅烷等离子体放电参数的影响
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论文类型：会议论文
发表时间：2007-08-20
页面范围：10
关键字：等离子体放电;激发频率;电子密度;鞘层;碰撞频率;离子能量;沉积速率;电场强度;连续性方程;自洽;
摘要：~~