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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
任职 : 《Plasma Science and Technology》学术期刊编委
性别：男
毕业院校：大连工学院
学位：硕士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：主楼东侧楼（物理系楼）304室
联系方式：0411-84707981
电子邮箱：wangdez@dlut.edu.cn
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用尘埃等离子体沉积碳化硅薄膜的研究
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论文类型：会议论文
发表时间：2007-08-01
页面范围：1
关键字：尘埃等离子体;碳化硅薄膜;常温;脉冲调制射频等离子体
摘要：本文用一套生成尘埃等离子体的设备在常温下沉积出碳化硅薄膜,工作气体为硅烷和乙烯,载气为氩气,沉积出的碳化硅薄膜为多晶膜；同时我们进行了用脉冲调制射频等离子体沉积碳化硅薄膜的初步实验,比较了不同调制频率对沉积