|
个人信息Personal Information
研究员
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：吉林工业大学
所在单位：机械工程学院
电子邮箱：wangld@dlut.edu.cn
扫描关注
微机电系统的发展趋势及国内外研发状况(摘要)
点击次数：
论文类型：会议论文
发表时间：2001-09-01
页面范围：1
关键字：微机电系统;批量制作;微小型;智能控制;执行器;信息工程;电子工程;微器件;前沿研究领域;发展趋势;
摘要：电系统(MEMS)是指适用于批量制作的,集微型机构、微型驱动器、微型传感器、微型执行器、信号处理和智能控制,直至接口、通讯和能源等于一体的能完成特定功能的微系统.MEMS是多学科交叉的前沿研究领域,它涉及电子工程、机械工程、材料工程、信息工程、物理学、化学、光学以及生物医学等学科和技术.MEMS广义上包含了微小型和微米机械.