微机电系统的发展趋势及国内外研发状况
点击次数：
论文类型：会议论文
发表时间：2001-09-01
页面范围：98-98
关键字：微机电系统;微米机械;系统功能;系统技术
摘要：本文将介绍国外电系统(MEMS)基础理论与基础技术方面的研究工作及产业发展状况.还将介绍我国在MEMS方面的经费投入、立项、主要研究.单位以及十年来有代表性的研发工作.
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关键字：微机电系统;微米机械;系统功能;系统技术
摘要：本文将介绍国外电系统(MEMS)基础理论与基础技术方面的研究工作及产业发展状况.还将介绍我国在MEMS方面的经费投入、立项、主要研究.单位以及十年来有代表性的研发工作.