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个人信息Personal Information
研究员
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：吉林工业大学
所在单位：机械工程学院
电子邮箱：wangld@dlut.edu.cn
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用于微机械的形状记忆合金薄膜工艺研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2002-01-01
发表刊物：中国机械工程
收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD
卷号：13
期号：1
页面范围：29-32
ISSN号：1004-132X
关键字：形状记忆合金; 薄膜; 微型机电系统; 冷轧; 溅射; 原子力显微镜
摘要：形态记忆合金薄膜以其功密度高、输出力和位移大成为微型机电系统领域最有潜力的微驱动材料之一。研究了丝材冷轧和溅射薄膜工艺，获得了理想的TiNi薄膜
，对于溅射工艺，给出了增加溅射薄膜中Ti含量的一种新途径，并应用原子力显微镜对薄膜进行了微观形貌分析。