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论文类型：期刊论文

发表时间：2003-09-30

发表刊物：中国机械工程

收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD

卷号：14

期号：18

页面范围：1600-1602

ISSN号：1004-132X

关键字：串联弯曲臂;压电微电机;机理;实验

摘要：把两片压电双晶片串联在一起,构成串联弯曲臂.一端固定,另一端自由时,在相位差为π/2的一定频率方波信号的驱动下,弯曲臂的自由端将形成类似椭圆的运动轨迹.以串联弯曲臂为驱动元件,可用来驱动端面与其相接触的转子转动,构成串联弯曲臂式压电微电机.对串联弯曲臂的驱动机理进行了分析,在新的微小尺寸驱动机理研究的椭圆运动的基础上,研制了直径为5 mm的串联弯曲臂压电微电机样机,对样机的性能参数进行了测试,转速可达325 r/min,转矩可以达到36.5 μN*m.