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Zr-N films prepared by MW-ECR PE-UNB balanced magnetron sputtering:plasma diagnostics and structure evolution

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发表时间：2022-10-04

发表刊物：Wuli Xuebao/Acta Physica Sinica

所属单位：运载工程与力学学部

卷号：54

期号：7

页面范围：3257-3262

ISSN号：1000-3290

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