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徐军
副教授 博士生导师 硕士生导师
性别:男
毕业院校:大连理工大学
学位:博士
所在单位:物理学院
学科:等离子体物理. 材料表面工程
办公地点:大连理工大学物理学院三束实验室2号楼202房间
联系方式:
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电子邮箱:
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[1]李建泉.陆文琪,徐军.基于虚拟仪器的自动发射探针诊断装置[A],第十八届全国等离子体科学技术会议,2022:1
[2]gaopeng.徐军,piaoyong,丁万昱,王德和,董闯.基体负偏压对SiCN薄膜结构和性能的影响[A],2006北京国际材料周暨中国材料研讨会,2022:362-368
[3]Ding Wan-Yu.徐军,陆文琪,邓新绿,董闯.基片温度对SiNx薄膜结晶状态及机械性能的影响[J],物理学报,2022,57(8):5170-5175
[4]谭伟.徐军,王行行,陆文琪.射频反应磁控溅射制备AlN多晶薄膜及其择优取向研究[J],真空科学与技术学报,2022,36(10):1092-1098
[5]曾其勇.周娟,徐军,邓新禄.射频反应磁控溅射法在高速钢基底上制备SiO_2薄膜[A],第八届全国真空冶金与表面工程学术会议,2022:1
[6]曾其勇.周娟,徐军,邓新禄.射频反应磁控溅射法在高速钢基底上制备SiO_2薄膜(英文)[A],第八届真空冶金与表面工程学术会议,2022:8
[7]gaopeng.徐军,邓新绿,王德和,董闯.微波ECR全方位离子注入制备类金刚石碳膜的结构及摩擦学性能研究[J],物理学报,2022,54(7):3241-3246
[8]丁万昱.徐军,陆文琪,邓新绿,董闯.微波ECR磁控溅射制备SiNx薄膜的XPS结构研究[J],物理学报,2022,58(6):4109-4116
[9]庞见华.陆文琪,王行行,贺佳,辛煜,徐军.微波ECR等离子体增强溅射沉积类金刚石薄膜的在线诊断[A],第十五届全国等离子体科学技术会议论文集中国力学学会;中国核学会;中国物理学会,2022:79-79
[10]丁万昱.徐军,李艳琴,piaoyong,gaopeng,邓新绿,董闯.微波ECR等离子体增强磁控溅射制备SiNx薄膜及其性能分析[J],物理学报,2022,55(3):1363-1368
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