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    徐军

    • 副教授     博士生导师 硕士生导师
    • 性别:男
    • 毕业院校:大连理工大学
    • 学位:博士
    • 所在单位:物理学院
    • 学科:等离子体物理. 材料表面工程
    • 办公地点:大连理工大学物理学院三束实验室2号楼202房间
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    论文成果

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    微波ECR等离子体增强溅射沉积类金刚石薄膜的在线诊断

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      发布时间:2024-10-17

      论文类型:会议论文

      发表时间:2022-06-30

      发表刊物:第十五届全国等离子体科学技术会议论文集中国力学学会;中国核学会;中国物理学会

      页面范围:79-79

      备注:新增回溯数据