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    徐军

    • 副教授     博士生导师 硕士生导师
    • 性别:男
    • 毕业院校:大连理工大学
    • 学位:博士
    • 所在单位:物理学院
    • 学科:等离子体物理. 材料表面工程
    • 办公地点:大连理工大学物理学院三束实验室2号楼202房间
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    论文成果

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    双放电腔微波ECR等离子体增强非平衡磁控溅射沉积氮化碳薄膜

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      发布时间:2024-10-17

      发表时间:2022-10-10

      发表刊物:2004年中国材料研讨会

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      备注:新增回溯数据