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Studies of diamond-like carbon (DLC) films deposited on stainless steel substrate with Si/SiC intermediate layers

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发表时间：2022-10-09

发表刊物：Chinese Physics B

所属单位：化工学院

卷号：17

期号：8

页面范围：3108-3114

ISSN号：1674-1056

上一条：Structural and electrical properties of reactive magnetron sputtered yttrium-doped HfO2 films