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Plasma Diagnosis for Microwave ECR Plasma Enhanced Sputtering Deposition of DLC Films

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发表时间：2022-10-08

发表刊物：Plasma Science and Technology

卷号：14

期号：2

页面范围：172-176

ISSN号：1009-0630

上一条：Photoluminescence properties of the Yb : Er co-doped Al2O3 thin film fabricated by microwave ECR plasma source enhanced RF magnetron sputtering

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