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Observation of the standing wave effect in large-area, very-high-frequency capacitively coupled plasmas by using a fiber Bragg grating sensor

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发表时间：2022-10-07

发表刊物：JOURNAL OF APPLIED PHYSICS

卷号：123

期号：22

ISSN号：0021-8979

上一条：N含量对CNx薄膜结构和介电性能的影响

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