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徐军

副教授博士生导师硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理. 材料表面工程
办公地点：大连理工大学物理学院三束实验室2号楼202房间
联系方式：大连理工大学物理学院三束实验室
电子邮箱：xujun@dlut.edu.cn

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MW-ECR PE-UMS等离子体特性及对Zr-N薄膜结构性能的影响

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发表时间：2022-10-07

发表刊物：物理学报

卷号：54

期号：7

页面范围：3257-3262

ISSN号：1000-3290

上一条：MW-ECR PE-UMS制备TiN薄膜及其结构与性能

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