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徐军

副教授博士生导师硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理. 材料表面工程
办公地点：大连理工大学物理学院三束实验室2号楼202房间
联系方式：大连理工大学物理学院三束实验室
电子邮箱：xujun@dlut.edu.cn

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激光-等离子体辅助化学气相沉积工艺数对氮化硅膜显微硬度的影响

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论文类型：期刊论文

发表时间：2022-07-03

发表刊物：机械工程材料

卷号：21

期号：3

页面范围：7

ISSN号：1000-3738

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