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专利名称：一种射频放电等离子体自偏置探针诊断方法

第一作者：陆文琪

发明设计人：黄琦,林载祁,张星,程子洪,徐军,王友年

申请号：CN201110064085.6

授权日期：2011-03-17

授权号：CN102156001A

发布时间：2019-09-16