徐军
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专利名称：一种采用反应磁控溅射制备二氧化铪基铁电薄膜的方法
第一作者：周大雨
发明设计人：赵鹏,张昱,徐军,徐进,孙纳纳
授权号：ZL 2018 1 0171185.0
发布时间：2020-04-09
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