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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
主要任职：力学与航空航天学院院长、党委副书记
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：力学与航空航天学院
学科：工程力学. 计算力学. 固体力学. 航空航天力学与工程. 船舶与海洋结构物设计制造
办公地点：工程力学系系楼305房间
联系方式：0411-84706832
电子邮箱：yanjun@dlut.edu.cn
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等离子硅刻蚀及其工艺参数的多尺度优化
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论文类型：期刊论文
发表时间：2014-10-31
发表刊物：计算机辅助工程
卷号：23
期号：5
页面范围：84-87
ISSN号：1006-0871
关键字：硅刻蚀;容性耦合等离子体;射频电压;腔室压强;Kriging模型;优化
摘要：用CFD-ACE+和CFD-TOPO分别对容性耦合等离子体反应腔室放电和等离子硅刻蚀过程进行仿真,讨论不同射频电压和腔室条件对等离子体特性的影响.结果表明:随着射频电压的升高,离子的通量增大;在低射频电压时,离子通量随腔室压强的升高而减小,而在高射频电压时趋势则相反.用Kriging模型对影响刻蚀形貌的参数(腔室压强和射频电压)进行优化,结果表明该优化方法可以为工艺条件相近的刻蚀机设备的设计提供参考.