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论文类型：期刊论文

发表时间：2010-12-15

发表刊物：核聚变与等离子体物理

收录刊物：Scopus、PKU、ISTIC、CSCD

卷号：30

期号：4

页面范围：365-369

ISSN号：0254-6086

关键字：磁控溅射;放电;脉冲技术

摘要：用线圈电流控制非平衡磁场,用汤森放电击穿形成深度自触发放电,用磁阱捕获放电形成的二次电子和导致漂移电流,形成了高功率非平衡磁控溅射放电.采用偏压为-100V相对磁控靶放置的圆形平面电极收集饱和离子电流;在距离磁控靶14cm的位置由Langmuir探针测量浮置电位;示波器测量磁控靶的脉冲电压、电流、浮置电位和饱和离子电流信号.装置的放电脉冲功率达到0.9MW,脉冲频率最大值为40Hz左右,空间电荷限制条件是控制电子电流和离子电流的主要机制.