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论文类型： 期刊论文

发表时间： 2014-01-08

发表刊物： 科学技术与工程

收录刊物： PKU、ISTIC

卷号： 14

期号： 1

页面范围： 41-44,58

ISSN号： 1671-1815

关键字： 双频容性耦合等离子体;四极杆质谱;离子能量分布;平均能量

摘要： 利用四极杆质谱仪研究了Ar/O2混合气体放电中低频频率和O2含量对离子能量分布和平均能量的影响.研究结果表明当低频频率增大时,离子能量逐渐由中频机制向高频机制变化,其能量分布的马鞍型双峰结构逐渐收缩,变得不明显.Ar+离子由于共振电荷交换的影响获得更多的低能离子,其平均能量比O2+离子的稍低.增大氧气含量,电离率增大,Ar+离子和O2+离子的高低能峰均向高能区移动,最大能量值逐渐右移.同等条件下的Ar+离子的平均能量均低于O2+离子.