教授 博士生导师 硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室
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发布时间：2019-03-10
论文类型：期刊论文
发表时间：2014-01-08
发表刊物：科学技术与工程
收录刊物：ISTIC、PKU
卷号：14
期号：1
页面范围：41-44,58
ISSN号：1671-1815
关键字：双频容性耦合等离子体;四极杆质谱;离子能量分布;平均能量
摘要：利用四极杆质谱仪研究了Ar/O2混合气体放电中低频频率和O2含量对离子能量分布和平均能量的影响.研究结果表明当低频频率增大时,离子能量逐渐由中频机制向高频机制变化,其能量分布的马鞍型双峰结构逐渐收缩,变得不明显.Ar+离子由于共振电荷交换的影响获得更多的低能离子,其平均能量比O2+离子的稍低.增大氧气含量,电离率增大,Ar+离子和O2+离子的高低能峰均向高能区移动,最大能量值逐渐右移.同等条件下的Ar+离子的平均能量均低于O2+离子.
