大连理工大学主页平台管理系统刘永新--Yong-- Experimental observation of standing wave effect in low-pressure 200 MHz capacitive discharges

刘永新

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教授博士生导师硕士生导师

性别：男

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室

电子邮箱： yxliu129@dlut.edu.cn

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Experimental observation of standing wave effect in low-pressure 200 MHz capacitive discharges

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论文类型：会议论文

发表时间： 2014-05-25

收录刊物： EI、Scopus

摘要： [No abstract available]

上一条：近代物理实验系列化教学模式探索

下一条：低频频率和O2含量对双频容性耦合等离子体Ar-O2放电的影响