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论文类型： 期刊论文

发表时间： 2011-11-15

发表刊物： 物理学报

收录刊物： PKU、ISTIC、CSCD

卷号： 61

期号： 1

页面范围： 276-282

ISSN号： 1000-3290

关键字： 双频容性耦合等离子体;径向均匀性;全悬浮双探针;二维流体模型

摘要： 利用自主研制的全悬浮双探针,对影响双频容性耦合等离子体径向均匀性的因素进行了研究.发现低频功率、放电气压和放电间距对径向均匀性有明显影响.合适的低频功率、放电气压及较大的极板间距可以得到更均匀的等离子体.采用与实验相同的放电参数,利用改进的二维流体模型进行理论模拟,得到了不同极板问距下径向离子密度分布,并和实验测量结果进行了比较,两者的变化趋势基本符合.